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LZ-Ⅱ离子溅射仪--商品详情
LZ-Ⅱ离子溅射仪
LZ-Ⅱ离子溅射仪是一种小型镀膜装置,可用作扫描电镜、电子探针等仪器进行试样制备,是开展教学科研实验的理想仪器。
技术参数:
1、真空腔:¢150×12 硼酸硅质玻璃
2、溅射靶尺寸:¢55×0.3
3、基台: ¢50 6-8个样品
4、极间距调节范围20-40mm
5、溅射电压: -2000V-0 DC连续可调
溅射电流0-30 mA
6、定时器:0-99分数字显示
7、真空测量:1×105-1.0×10-1pa 数字显示,单片机控制,数字显示,具有真空保护锁设置。
8、控制系统:单片机控制,完成真空自动测量、显示、定时器倒计时功能以及自动完成镀膜程序。
9、真空泵:2L/S二级旋片式直联机械泵,极限真空度6×10-1pa
10、充气阀:金属微调针型阀 保护气体 99.9%纯度氩气(推荐)
11、外形尺寸:长354mm ×高216mm ×深340mm
12、电源:AC 220V 50HZ
如需详细技术资料,欢迎来电咨询索取:400 996 5117
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